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  • PECVD等離子體增強氣相沉積

    PECVD等離子體增強氣相沉積是一款1200℃等離子增強混合物理化學(xué)氣相沉積(HPCVD)雙溫區(qū)回轉(zhuǎn)爐系統(tǒng)源(帶自動匹配功能)、上游原位蒸發(fā)舟、4通道質(zhì)子流量計控制系統(tǒng)及性能優(yōu)異的真空泵組成。此于無機復(fù)合粉末的熱處理及粉末表面的均勻包覆(如:制備鋰離子電池陰極粉末的導(dǎo)電涂層等)。

    更新日期:2025-07-07
    型號:
    廠商性質(zhì):代理商
  • OTF-1200X-II-PEC41200℃等離子增強HPCVD回轉(zhuǎn)爐系統(tǒng)

    1200℃等離子增強HPCVD回轉(zhuǎn)爐系統(tǒng),OTF-1200X-II-PEC4是一款1200℃等離子增強混合物理化學(xué)氣相沉積(HPCVD)雙溫區(qū)回轉(zhuǎn)爐系統(tǒng)源(帶自動匹配功能)、上游原位蒸發(fā)舟、4通道質(zhì)子流量計控制系統(tǒng)及性能優(yōu)異的真空泵組成。此于無機復(fù)合粉末的熱處理及粉末表面的均勻包覆(如:制備鋰離子電池陰極粉末的導(dǎo)電涂層等)。

    更新日期:2025-07-07
    型號:OTF-1200X-II-PEC4
    廠商性質(zhì):代理商
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